臺積電：仍在評估High-NA EUV 採用時間未定

《科創板日報》30日訊，臺積電海外營運資深副總經理暨副共同營運長張曉強表示，仍在評估High-NA EUV應用於未來製程節點的成本效益與可擴展性，目前採用時間未定。A16製程將於2026年下半年量產，可能不會採用high-NA EUV設備。